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資訊
潔凈室檢測項目和標準
2024-07-18

      凈室的定義為:將空間范圍內之空氣中的微塵粒子等污染物排除,而得到一個相當潔凈的環境。亦即:這個環境中的微塵粒子相當少,稱之為凈室。凈室被廣泛地應用在對環境污染特別敏感的行業,例如半導體生產、生化技術、生物技術、精密機械、制藥、和醫院內的手術室等行業等,其中以半導體業其對室內之溫濕度、潔凈度要求尤其嚴格、故其必需控制在某一個需求范圍內,才不會對制程產生影響。


潔凈室檢測范圍




潔凈室環境等級評定、工程驗收檢測,包括食品、保健品、化妝品、桶裝水、牛奶生產車間、電子產品產車間、GMP車間、醫院手術室、動物實驗



潔凈室檢測項目




風速風量、換氣次數、溫濕度、壓差、懸浮粒子、浮游菌、沉降菌、噪聲、照度等。具體可以參考潔凈室檢測相關標準。



風速風量換氣次數

潔凈室、潔凈區的潔凈度主要是靠送入足夠量的潔凈空氣,以排替、稀釋室內產生的顆粒污染物來實現的。為此,測定潔凈室或潔凈設施的送風量、平均風速、送風均勻性、氣流流向及流型等項目十分必要。

單向流主要是依靠潔凈氣流推擠、排替室內、區內的污染空氣以維持室內、區內的潔凈度。因此,其送風斷面風速及均勻性是影響潔凈度的重要參數。較高的、較均勻的斷面風速能更快、更有效地排除室內工藝過程產生的污染物,因此它們是主要關注的檢測項目。

非單向流主要是靠送入的潔凈空氣來沖淡與稀釋室內、區內的污染物以維持其潔凈度。因此,換氣次數越大,氣流流型合理,稀釋效果越顯著,潔凈度也相應提高。所以非單向流潔凈室、潔凈區的送風量及相應的換氣次數,是主要關注的氣流測試項目。

為了獲得可重復的讀數,記錄各測點風速的時間平均值。
換氣次數:根據潔凈室總風量除以潔凈室的容積求得。

潔凈室溫濕度檢測

潔凈室或潔凈設施溫、濕度測定,通常分為兩個檔次:一般測試綜合測試

第一個檔次適用于處于空態的交竣驗收測試

第二個檔次適用于靜態或動態的綜合性能測試。這類測試適用于對溫度、濕度性能要求比較嚴格的場合。

本檢測在氣流均勻性檢測之后和空調系統調整之后進行。進行這項檢測時,空調系統已經充分運轉,各項狀況已經穩定。每個濕度控制區至少設置一個濕度傳感器,并且給傳感器充分的穩定時間。所做測量應適合實際使用的目的,待傳感器穩定之后才開始測量,測量時間不少于5分鐘。

這項檢測的目的是驗證完工設施與周圍環境之間、設施內各空間之間保持規定壓差的能力。這項檢測適用于所有3種占用狀態。需要定期進行這項檢測。

壓差的測試應在所有的門都關閉的條件下,由高壓向低壓、由平面布置上與外界最遠的里間房間開始,依次向外測試;有孔洞相通的不同等級相鄰的潔凈室(區),其洞口處宜有合理的氣流流向等等。

潔凈室壓差檢測要求

這種檢測是為了驗證完工設施和四周環境之間、設施內各空間之間維持一定壓差的能力。這種檢測適用于全部3個占用狀態。這種檢測是必須的。對壓差的檢測應該在全部門都關閉的條件下進行的,從高壓到低壓、從平面布置上和外界最遠的里間房間開始,然后依次向外檢測。不同等級的、有孔洞相通的潔凈室,在洞口處只有合理的氣流流向等。

壓差檢測要求

(1)要求清潔區內所有門全部關閉時,進行靜壓差的測定。

(2)在潔凈平面上,應從潔凈度從高到低的順序依次進行,直到檢測到直通室外的房間。

(3)室內沒有氣流影響時測管口應設置在任何位置,測管口面和氣流流線平行。

(4)測量記錄的數據應該精確到1.0Pa。

壓差檢測步驟:

(1)首先關上所有門。

(2)用微差壓計測量每個潔凈室之間、潔凈室走廊之間、走廊與外界之間的壓差。

(3)所有數據記錄好。

壓差標準要求:

(1)不同級別的潔凈室或潔凈區和非潔凈室(區)之間的靜壓差要求大于5Pa。

(2)潔凈室(區)與室外的靜壓差要求大于10Pa。

(3)對于空氣潔凈度等級嚴于 5 級(100 級)的單向流潔凈室在開門時,門內 0.6m 處的室內工作面含塵濃度應小于相應級別的含塵濃度限值。

(4)如果未能達到上述標準要求,應重新調整新風量、排風量,直到合格。

潔凈室懸浮粒子測試

(1)室內測試人員一定要穿潔凈服,要小于兩個人,應位于測試點下風側且遠離測試點,做換點操作時動作要輕,不要增加人員對室內潔凈度的干擾。

(2)設備要在校準期內使用。

(3)檢測前后設備要清零。

(4)在單向流區域,選定的采樣探頭要接近等動力采樣,進入采樣探頭的風速和被采空氣的風速偏差應該小于20%。如果沒有做到這一點,就要將采樣口正對氣流的主方向。非單向流的采樣點,采樣口應豎直向上。

(5)采樣口至粒子計數器傳感器的連接管應盡量短。

潔凈室沉降菌檢測

工作區測點位置離地0.8-1.2m左右,將已制備好的培養皿置于采樣點,打開培養皿蓋,使其暴露規定的時間,再將培養皿蓋上,將培養皿放于恒溫培養箱中培養,時間不少于48小時,每批培養基應該有對照實驗,檢驗培養基是否污染。

潔凈室噪聲及照度

噪聲:測量高度距離地面約1.2米,潔凈室面積在15平方以下者,可只測室中心1點;面積在15平方米以上,還應再測對角4點,距側墻各1米,測點朝向各角。

照度:測點平面離地面0.8米左右,按2米間距布點,30平方米以內的房間測點距邊墻0.5米,超過30平方米的房間測點距離墻面1米。


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